結(jié)合了高靈敏度、高分辨率定量成像以及表面分析多技術(shù)聯(lián)用能力的 Thermo Scientific? ESCALAB? QXi X射線光電子能譜儀 (XPS) 微探針將滿(mǎn)足您對(duì)提高分析性能和靈活性的需求。
ESCALAB QXi XPS微探針是一種可擴(kuò)展和優(yōu)化的多技術(shù)儀器，具有靈活性和可配置性。它非常靈敏，可在幾秒鐘內(nèi)產(chǎn)生高質(zhì)量的光譜。系統(tǒng)控制、數(shù)據(jù)采集、處理和報(bào)告無(wú)縫集成在強(qiáng)大的 Thermo Scientific Avantage 數(shù)據(jù)系統(tǒng)中。由直觀EM軟件驅(qū)動(dòng)的技術(shù)保證了結(jié)果和生產(chǎn)力。ESCALAB QXi XPS微探針具有獨(dú)特的雙檢測(cè)器系統(tǒng)，還提供具有高空間分辨率的優(yōu)質(zhì) XPS 成像。
ESCALAB QXi XPS微探針的特點(diǎn)：
單色 XPS
雙晶微聚焦單色器帶有 500 mm 羅蘭圓，使用鋁陽(yáng)極（或有雙單色器選項(xiàng)的鋁銀雙陽(yáng)極），測(cè)試光斑尺寸在 200 μm 到 900 μm 范圍內(nèi)可選。
電子槍
與分析儀輸入透鏡同軸的電子槍用于在使用單色 X 射線源分析非導(dǎo)電樣品時(shí)進(jìn)行電荷補(bǔ)償，而不使用磁透鏡時(shí)，雙束電子槍產(chǎn)生兩種低能離子，以協(xié)助提供有效的電荷補(bǔ)償和低能電子。
透鏡和分析儀
ESCALAB QXi XPS微探針上的透鏡和分析儀系統(tǒng)針對(duì)光譜學(xué)和平行成像進(jìn)行了優(yōu)化；單一分析儀路徑意味著相同的儀器參數(shù)（例如，通過(guò)能）可用于譜圖和成像。
檢測(cè)器
ESCALAB QXi XPS微探針配備了兩個(gè)檢測(cè)器系統(tǒng)：一個(gè)針對(duì)光譜進(jìn)行了優(yōu)化，由一組六通道電子倍增器組成，另一個(gè)用于平行成像，由一對(duì)通道板和一個(gè)連續(xù)位置敏感探測(cè)器組成。
離子槍
ESCALAB QXi XPS微探針有兩個(gè)選項(xiàng)用于快速、高分辨率的深度剖析：標(biāo)準(zhǔn) EX06 離子槍?zhuān)槍?duì)單粒子模式離子濺射和離子散射光譜進(jìn)行了優(yōu)化；以及可選的單粒子和團(tuán)簇離子源 MAGCIS，它能夠應(yīng)用于單粒子離子剖析、離子簇剖析和離子散射光譜分析。
數(shù)碼控制
ESCALAB QXi的所有分析功能均由基于 Windows 軟件的 Avantage 數(shù)據(jù)系統(tǒng)控制，這意味著可以根據(jù)需要遠(yuǎn)程執(zhí)行整個(gè)分析過(guò)程。
對(duì)準(zhǔn)和校準(zhǔn)
包含銅、銀和金樣品的標(biāo)準(zhǔn)塊可用于評(píng)估靈敏度、設(shè)置分析儀能量標(biāo)度的線性度、校準(zhǔn)離子源、校準(zhǔn) X 射線單色器以及確定分析儀的轉(zhuǎn)換功能。
樣品對(duì)齊
ESCALAB QXi的樣品臺(tái)上的所有運(yùn)動(dòng)軸均由 Avantage 數(shù)據(jù)系統(tǒng)控制，儀器上安裝了高分辨率數(shù)碼攝像機(jī)，并與分析位置準(zhǔn)確對(duì)齊。
樣品機(jī)械手
計(jì)算機(jī)控制的 5 軸高精度轉(zhuǎn)換器 (HPT) 可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的樣品對(duì)齊以進(jìn)行分析。當(dāng)與新的自動(dòng)樣品裝載系統(tǒng)結(jié)合使用時(shí)，它可用于自動(dòng)更換樣品架和運(yùn)行預(yù)設(shè)實(shí)驗(yàn)樹(shù)。
真空系統(tǒng)
ESCALAB QXi的分析室由 5 mm 厚的高導(dǎo)磁合金構(gòu)成，以最大限度地提高磁屏蔽效率，并使用渦輪分子泵和鈦升華泵對(duì)分析室進(jìn)行抽氣，使分析室的真空度優(yōu)于 5 x 10-10毫巴。
制備室
ESCALAB QXi的標(biāo)準(zhǔn)前處理室是一個(gè)組合式的樣品入口鎖和制備室，具有可容納各種樣品制備設(shè)備的端口，例如加熱/冷卻探針、離子槍、高壓氣室、樣品停放裝置和氣體入口。
連接性
測(cè)量坐標(biāo)可以通過(guò)Thermo Scientifc Maps軟件從專(zhuān)用顯微鏡系統(tǒng)導(dǎo)入Avantage數(shù)據(jù)系統(tǒng)，從而更快地識(shí)別測(cè)量區(qū)域。可以將 XPS 光譜和成像數(shù)據(jù)添加至 Maps 軟件中，以便直接比較表面化學(xué)和結(jié)構(gòu)信息。
ESCALAB QXi XPS微探針的性能數(shù)據(jù)：
單色 X 射線源 | 微聚焦 Al K-Alpha 源或可選的微聚焦雙陽(yáng)極 Al K-Alpha 和 Ag L-Alpha 源 |
分析 | 180°、雙聚焦、雙極半球形分析儀，配備用于光譜和成像的雙檢測(cè)器系統(tǒng) |
離子源 | Monatomic EX06 離子源作為標(biāo)準(zhǔn)配置提供； MAGCIS 雙模離子源可選 |
真空系統(tǒng) | 兩個(gè)用于入口和分析室的渦輪分子泵，配備旋轉(zhuǎn)泵或無(wú)油前級(jí)泵；用于分析室的自啟動(dòng)、3 絲鈦升華泵 |
樣品臺(tái) | 具有樣品加熱和冷卻功能的 5 軸樣品臺(tái) 從樣品室到分析室的可選全自動(dòng)樣品傳送 |
包括標(biāo)準(zhǔn)分析技術(shù) | X 射線光電子能譜 (XPS) 反射電子能量損失譜 (REELS) 離子散射譜 (ISS) |
可選的分析技術(shù) | 用于紫外光電子能譜 (UPS) 的紫外燈 用于 HAXPES 的非單色 X 射線源 用于俄歇電子能譜 (AES) 和 SEM 的場(chǎng)發(fā)射電子源 逆光電子能譜 (IPES) EDS 檢測(cè)器 |
可選配件 | 手套箱、真空轉(zhuǎn)移容器、EX03 寬束離子源、盤(pán)片相機(jī) |
樣品制備選項(xiàng) | 加熱/冷卻樣品架、附加制備室、可烘烤的 3 路進(jìn)氣管、斷裂臺(tái)、樣品停放裝置 |